imprint lithography, microcontact printing, printing and molding techniques를 포함하는, photolithography는 최근에 만들어진 넓은 범위의 패터닝에 쓰이는 lithography이고, 전기적으로 구조 형성을 일으킨다. 여기서 최근에 만들어진 넓은 범위의 패터닝 기술에 capillary force lithography(CFL) 형태를 단순히 더한 것을 보여준다.
모세관 현상(capillarity)은 중합체의 패터닝에 유용한 개념이다. 액체가 모세관을 적실 때, 만약 자유에너지를 낮추는 결과로 흐른다면, 습기는 액체의 모세관 현상으로 인한 상승을 이끈다. 이 모세관 현상은 모세관의 micromolding이라고 불리는 방법으로 사용된다. 이 방법에 약간 존재하는 단점을 극복하기 위해서, solvent-assisted microcontact molding이 개발되었다. 이것은 molding에 적합한 solvent로 substrate의 얇은 표면층에 “softening”하는 과정을 포함한다.
polymer film이 mold의 cavity를 완전하게 채울 정도로 충분히 두꺼우면, 남는 polymer가 존재한다. 하지만 만약 polymer film이 얇고 polymer와 substrate사이에 상호작용이 충분히 약하다면, 남아있는 film은 없고, substrate 표면은 노출된다. 후자의 경우, polymer의 끝부분에 meniscus가 관찰된다. 이것은 모세관 현상의 증거라고 할 수 있다. 초기 습윤 조건은 polymer가 mold의 cavity를 완전히 채우지 않은 경우 매우 중요하다. 만약 mold가 한쪽으로 약간 누워있으면, meniscus같은 비대칭 구조는 매우 평탄하지 않다(uneven). 이 경우 채널의 polymer 패턴은 일정하지 않다.
만약 mold의 최대 계단 높이(h)가 polymer의 두께(t)보다 크면, CFL 공정에서 polymer 물질과 비슷한 것만 관여하게 되어, substrate 표면은 노출될 수 있다.
CFL의 가장 중요한 개념은 polymer가 녹음에 따라 PDMS mold의 벽의 습기는 전체 자유 에너지를 낮춘다는 것이다.
>> 정말 대충한 요약입니다...그리 많은 양의 논문도 아니니 해석하시면서 보셔도 될 듯...
원문을 보시려면,
http://www3.interscience.wiley.com/journal/85510814/abstract?SRETRY=0
여기가시면 됩니다.
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